100ns脈衝Bar條測試機
邊射型晶粒點測分選機
面射型晶圓測試機
普賽斯(PREISE) / WT-VL602
面射型 VCSEL 晶圓測試機
高功率 VCSEL 晶圓測試設備用於垂直腔面發射類型雷射晶片的晶圓測試，支援 100ns級脈寬最大 30A電流的 LIV、光譜、近場、遠場相關參數的測試，視覺自動識別，全自動完成每一顆晶片測試；支援 25~85℃ 溫度測試。
標配 6吋晶圓測試，且相容於 2吋、4吋晶圓及破片測試。
- 支援窄脈衝大電流 (最小脈衝100ns，最大電流30A) 測試，雙探針四線法測試，且探針壓力可調
- LIV測試採用積分球收光，積分球收光一部分用於OSA測試
- 在近、遠場測試時，可選用不同的相機鏡頭
產品特點
- 相容 2吋、4吋、6 吋晶圓測試。
- 支援窄脈衝 (100ns)，最大電流 30A 測試。
- 支援同面和異面設計的 VCSEL 晶圓測試。
- TEC 溫控，溫度範圍可支援 25~85℃。
- 支援四線制電壓測試。
- 支援 NF 均勻性和暗壞點測試。
- 支援 FF 遠場發散角測試。
技術規格
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 適用晶圓尺寸 | 2吋、4吋、6吋 |
| 晶片加電方式 | 支援同面和異面類型的Vcsel加電 |
| 脈衝電流輸出 | 範圍 0~30A，精度 0.5%rdg±250mA，最小脈寬100ns |
| 電壓測量範圍 | 範圍 0~40V，精度 0.5%rdg±250mV |
| 功率測試範圍 | 採用積分球收光，範圍 0~200W，精度 0.5% FS±10mW |
| 波長範圍 | 400~1100nm； 可客製其他波長 |
| 輸出特性曲線 | (1) LIV 特性曲線 (2) 光譜曲線 |
| LIV測試參數 | Ith，V，Ir，SE，Rs，P，PCE，波長，FWHM 等 |
| 近場測試參數 | 發光孔數，暗壞點、一致性； 另可自訂M2、孔發散角、束腰測試功能 |
| 遠場測試參數 | 發散角 (1/e²，D86，D50)、DIP |
| 光譜參數 | λｐ 峰值波長 |
| 測試臺溫控範圍 | 25～85℃，穩定性<±1℃ |
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