100ns脈衝Bar條測試機
邊射型晶粒點測分選機
面射型晶圓測試機
普賽斯(PREISE) / CHIP25401
邊射型晶粒點測分選機
本設備應用於晶片常溫 / 高溫PIV和光譜測試，並對不同測試結果進行歸類分級篩選。
載台可平移旋轉，支援斜光腔晶片測試。支援積分球、大面積PD、準直耦合、擺臂式FFP 測試。
遠場發散角測試：水平及垂直方向擺臂式空間掃描，精確度在0.1°以內。
- 多探針加電機構，最多支援5探針。自帶探針壓力監測，即時回饋探針接觸力
備註：五個電極以上特殊晶片，可採用客製化探針卡結構。
產品特點
- 視覺系統自動搜尋晶片、OCR辨識 (光學字元辨識)。
- 雙探針結構，自動下壓加電，探針接觸壓力可調整、即時監控。
- 溫度 TEC 控溫，常溫15~30℃、高溫30~90℃。
- 積分球收光，測試 PIV 和光譜特性。
- 測試分選，良品依測試結果自動分檔歸類。
- 下料配置 6個 BinBlock 或 4個 GelPak 盒。
- 生產過程中的異常狀況均有警報提示及糾錯提示功能。
技術規格
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 適合晶片尺寸 | 腔長L x 寬W x 厚H : 600-4000 μm x 250-1000 μm x 90-150 μm 可客製其他尺寸的吸嘴和測試載台 |
| 測量內容 | LIV (Ith，Po，Vf，Im，Rs，SE，Kink 等)、波長(λ)、發散角(FFP)，EA、SOA |
| 源表規格 | 普賽斯 PLT2302 CW 連續波： *0~0.2A，±(0.05%RDG+0.05mA) *0~1A，±(0.05%RDG+0.25mA) *0~5A，±(0.05%RDG+1.25mA) QCW 準連續波：最小脈衝寬度 10μs，佔空比最大30% *0~0.2A，±(0.05%RDG+0.05mA) *0~1A，±(0.05%RDG+0.25mA) *0~5A，±(0.05%RDG+1.25mA) *0~10A，±(0.05%RDG+2.5mA) |
| LD/SOA 驅動電流 | 最小脈衝寬度 100μs，佔空比最大 100%。可連續波。 |
| EA 驅動 | 電壓：-10V~10V， 測定EA電流 0~200mA |
| 波長測試 | 功率+20~-90dbm；精度0.1% FS±50uW； 分辨率0.1nm；相應精度0.3nm； 波長範圍600~1700nm；相應速度0.2s/100nm 橫河(Yokogawa)或安立知(Arnitsu)光譜儀客戶指定型號 |
| 光功率測試 | 最大輸入功率≤2W |
| 光功率採集 | PD直接採集 或 光纖耦合配合PD採集測試消光比 |
| 發散角 | ±45°，分辨率± 0.072° |
| 溫度控制 | 15~90℃；穩定性≤ ±1℃ (實測≤0.2℃) |
型號配置清單
CHIP25401-X
| 型號 | 規格 |
|---|---|
| PSS CHIP15401-E | EML 單溫測試機 |
| PSS CHIP15401-EF | EML+FFP 單溫測試機 |
| PSS CHIP15401-ES | EML+SOA 單溫測試機 |
| PSS CHIP15401-ESF | EML+SOA+FFP 單溫測試機 |
| PSS CHIP25401-E | EML 雙溫測試機 |
| PSS CHIP25401-EF | EML+FFP 雙溫測試機 |
| PSS CHIP25401-ES | EML+SOA 雙溫測試機 |
| PSS CHIP25401-ESF | EML+SOA+FFP 雙溫測試機 |
| PSS CHIP25401-LT | EML+SOA 雙溫(含低溫)測試機 |
繁體中文 
English