100ns脈衝Bar條測試機
邊射型晶粒點測分選機
面射型晶圓測試機
普賽斯(PREISE) / BarT-HP
100ns 脈衝Bar測試機
針對 Lidar 應用於雷射晶片、工業級高功率雷射晶片，醫療與顯示等高功率雷射晶片領域。
支援大電流、ns 級窄脈衝條件測試，全自動測試 BAR 條 LIV 曲線、光譜、遠場參數。支援可變溫度測試。
全自動上下料；支援多種規格料盒上料和多種規格料盒或藍膜下料。
- 上料自動辨識 Bar條位置、長度，Bar條中間吸取，自動校準 Bar條在料盒中擺放角度偏差。
- Bar條透過吸嘴真空吸附拾取，支援快速更換不同內徑吸嘴，推刀將 Bar條推至測試台擋板貼齊，吸嘴接觸壓力可調。
- Bar條測試台採用專利熱管快速導熱結構；同時配置輔助兩端著壓設計，協助 Bar條的可靠接觸壓著。
- 前光積分球測 LIV 曲線，準直器測光譜，測試台自動清灰。
產品特點
- 支援多種主流規格料盒，全自動上下料。
- 整合自主開發的大電流、窄脈衝測試儀表，支援 BAR 條 LIV、光譜、遠場測試。
- 支援四線式電壓測試，電流加電迴路低電感設計。
- 支援探針壓力檢測。
- 單一設備整合常溫、高溫測試載台，支援 TEC 溫度控制，分別支援常溫和高溫測試。
- 支援晶片編碼識別，不良晶片採用打點標記。
技術規格
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 適用Bar條尺寸 | 長度：15~30mm，寬度：1~4mm； 其他Bar條寬度可客製化測試台 |
| 針壓 | 預設 10±1g， 使用者可調整 |
| 吸嘴規格 | 標配雙頭電木吸嘴，內徑 200um |
| 吸嘴壓力 | 預設 20±2g， 使用者可調整 |
| 推刀力 | 預設 80±2g， 使用者可調整 |
| 脈衝電流輸出 | 範圍 0~50A，精度 0.5%rdg±200mA |
| 脈衝特性 | 最小脈寬：100ns，最大佔空比：0.1%； 不同脈寬、不同電流下可設定佔空比。 |
| 脈衝電壓測量 | 範圍 0~40V，精度 0.5%rdg±200mV 四線式， 峰值檢測 |
| 脈衝電流測量 | 範圍 0~50A，精度 0.5%rdg±200mA， 峰值檢測 |
| 光功率測量 | 等效光電流檢測量程與精度： 範圍 0~10mA，精度 0.5%rdg±50uA， 峰值檢測 基本配置支援 100W輸入光功率， 不同功率範圍可配置不同的衰減片， 可客製 |
| 遠場發散角測試 | 範圍 ±60°，解析度 ±0.072° |
| 測試效率 (典型值) | 單顆晶片在單一工序上測試時間： ≤9s 測試項目：LIV+光譜 (1個點) +ID 識別 |
| 波長測試 | 800~1700nm， 功率 +20~ -90dbm；精度 0.1% FS±50uW； 解析度 0.1nm；對應精度 0.3nm； 波長範圍 600~1700nm；對應速度 0.2s/100nm 安立知(Arnitsu)光譜儀MS9740B (窄脈衝非觸發模式) |
| 輸出特性曲線 | (1) I-L 特性 (2) I-V 特性 (3) 光譜參數 (4) 遠場發散角曲線(依配置) |
| 測試參數 | Ith 、P、Im、Vf、Rs、SE、Kink，λp、λc、SMSR 等 |
| 測試光譜 | (1) λp 峰值波長 (2) PEAK (3) SMSR (4) -20dBwide 安立知(Arnitsu)光譜儀MS9740B (窄脈衝非觸發模式) |
| 校正功能 | 使用者可自行校準 |
| 常溫台溫控範圍 | 15℃~50℃，精度 ±1℃ |
| 高溫台溫控範圍 | 室溫 +10°～85℃，精度 <±1℃ |
EOS測試
波形驗證結果
PIV曲線
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